余弦误差论文

工件台激光干涉仪测量误差模型研究
论文摘要多自由度精密运动台是集成电路设备、精密加工机床等的关键部件,具有速度大、精度高的特性,其运动精度直接影响整机的性能,因此多自由度精密运动台的高速高精运动控制十分关键。实...