载流纳米管论文

论文摘要随着科学技术的发展,微电子机械系统（MEMS）及其技术在科技领域中得到了广泛的应用,也引起了各国学者的高度关注和研究兴趣。当MEMS的尺寸达到纳米级时,我们通常称其为纳...