载能沉积论文

论文摘要低温等离子体辅助薄膜生长是改善薄膜质量的重要手段，已经广泛应用于各种薄膜材料的制备之中。从原子尺度上研究薄膜生长过程和微观机制，对于揭示薄膜生长的物理本质、控制生长条件...