• 天基可见光探测相机光学系统设计及杂散光分析

    天基可见光探测相机光学系统设计及杂散光分析

    论文摘要本文针对一种天基可见光探测相机光学系统设计及杂散光分析展开研究。首先针对探测要求确定出光学系统参数,选择类库克透射式光学系统作为初始结构,经过ZEMAX软件优化得到一个...
  • 航天器用大视场低畸变光学系统的研究

    航天器用大视场低畸变光学系统的研究

    论文摘要随着中国综合国力的提高以及航天工程技术的积累,中国载人航天事业正在稳步推进。本文设计的光学系统将用于观察神州七号宇航员出舱活动情况,根据设计要求决定了摄像装置的光学系统...
  • 浸没式ArF光刻CD均匀性研究

    浸没式ArF光刻CD均匀性研究

    论文摘要根据下一代光刻技术发展趋势和2005年国际半导体技术路径图(ITRS)给出的技术路径,浸没式ArF(氟化氩)光刻是实现特征尺寸(CD,Criticaldimension...
  • 陈贺:遮光罩材料光学散射特性测试系统设计论文

    陈贺:遮光罩材料光学散射特性测试系统设计论文

    本文主要研究内容作者陈贺,姜肇国,徐熙平(2019)在《遮光罩材料光学散射特性测试系统设计》一文中研究指出:遮光罩是应用于天基光学系统中起消除杂散光作用的主要结构组成部分。遮光...