长位型论文

长位型低频冷等离子体实验与模拟研究
论文摘要等离子体的性质不仅与等离子体的激发方式有关,而且受到电极位型、结构与材料等的影响。另一方面,针对不同应用工艺的一些非常规位型等离子体源,由于位型的特殊性,给等离子体特性...