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MEMS粘附的分子动力学研究
论文摘要虽然MEMS发展已经有二十多年的时间了,但粘着问题一直阻碍MEMS产品进入市场,是MEMS技术急需解决的关键问题。分子动力学模拟作为一种数字实验方法,可以对理论分析和实...
纳观表面粘着接触的分子动力学模拟
论文摘要微/纳机电系统(Micro/NanoElectro-MechanicalSystems,MEMS/NEMS)是人们在微/纳观领域认识与改造世界的一项高新技术。当构件尺寸...