锗单晶论文

锗单晶的化学钝化研究
论文摘要锗氧化物尤其是GeO2由于其较差的电学性能和稳定性能,以及去除工艺的复杂性,历来被视为阻止锗半导体器件进一步广泛应用的阻碍。近来亚态非化学计量比的氧化物GeOx层受到很...