镇定时间论文

运动控制系统约束条件下控制算法设计和性能分析
论文摘要在现代机械系统领域,尤其是IC领域,高速高精运动控制由于它极高的生产能力和良好的性能成为这个领域的一个核心技术。由于IC生产特点是需要极端的尺度和速度,这就给我们一个极...