振动检测方法论文

论文题目:微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法论文类型:博士论文论文专业:测试计量技术及仪器作者:钟莹导师:张国雄关键词:微机电系统,梳齿,谐振器,激光多普勒,振动检测...