正交误差论文
微小型MEMS陀螺的误差特性研究
论文摘要MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)陀螺尺寸小、重量轻、可靠性高,在军事和民用等领域展现出广阔的应用前景。但是限于性能,MEMS陀螺主要...提高硅微陀螺仪性能若干关键技术研究 ——正交误差与杂散电容分析研究
论文摘要随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,以及目前市场对低成本、高可靠性以及微型化角速率传感器的需求,硅微机械陀螺仪已成为过去近二十年内广泛研究和发展的主...季奇波:四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析论文
本文主要研究内容作者季奇波,张印强,杨波,李丽娟,刘琴,周中鑫(2019)在《四质量硅微陀螺阵列的正交误差校正系统分析》一文中研究指出:为了减小正交误差对硅微阵列陀螺仪测量精度...