正切法论文

光栅莫尔条纹电子学细分技术研究
论文摘要光栅测量技术具有高精度、高灵敏性、动态范围大、易于实现自动化等特点,可实现对位移、速度等机械量的测量。为提高测量精度和分辨力,有效控制测量成本,莫尔条纹电子学细分技术被...