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涡轮分子泵整体转子的CAD/CAM研究
论文摘要涡轮分子泵是一种高速旋转的精密动量传输式真空泵,涡轮转子是涡轮分子泵的心脏,是决定整机抽气性能的关键部件之一。涡轮转子叶片制造质量及其型面的准确性对整机的安全、可靠、经...