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基于纳米压痕技术与有限元法的粘弹性材料力学特性研究
论文摘要粘弹性材料在微电子、纳米技术以及微机电系统领域具有广泛的应用前景,如利用粘弹性材料制作的微纳结构和微型器件。使得粘弹性材料的微观力学特性研究显的尤为重要。本文结合纳米压...