真空镀膜技术论文

离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究
论文摘要在红外光学系统中,绝大多数红外光学元件必须镀制减反射膜来降低表面反射损失,高性能的红外减反射膜是红外光学系统的一个关键部分。同时,由于使用环境恶劣,红外光学元件通常除了...