真空镀膜设备论文

PECVD镀膜设备的控制系统开发
论文摘要在现代科学技术与工业生产的发展进程中,真空镀膜技术处于非常重要的地位,往往由于一种新真空镀膜设备的研制或一项新工艺的应用,直接带来巨大的经济效益和社会效益。等离子体增强...