真空集成元件论文

快速响应低耗气真空集成元件的研究
论文摘要以真空发生器为真空产生装置的气动真空系统由于其独特的优点正日益广泛地应用于工业自动化中。但是，当前这种气动真空系统大多都存在着响应时间和耗气量的矛盾。目前研发的一种分离...