真空机器人论文

真空硅片搬运机器人本体的研究
论文摘要半导体加工环境要求在其内运行的设备需要具有高洁净等级、防静电、高可靠性等特点。所以IC环境下所用的机器人在满足基本搬运要求的同时还要兼顾上述特点。再加之,真空硅片搬运机...
真空机器人的磁性联轴器及轴系理论建模与实验研究
论文摘要真空机器人是半导体前道集束型设备中各反应工艺腔室之间传输晶圆的核心部件,归属于禁运产品,已成为制约我国半导体整机装备制造的“卡脖子”问题。大气环境与真空环境之间的密封隔...