真空技术论文

宽光谱监控薄膜生长系统的研制
论文摘要在光学薄膜器件的制备过程中,薄膜厚度是实现器件特性的最重要的参数,薄膜制备的成功与否取决于在薄膜生长过程中能否对各层薄膜的光学厚度进行精确的测量和控制。镀膜工艺经过一百...