真空气相沉积论文

纳米二氧化锡薄膜的稀土钕掺杂效应
论文摘要采用真空气相沉积法在硅单晶[111]、玻璃衬底上分别制备Sn、SnO2薄膜,然后对薄膜进行氧化、热处理。采用同样方法制备稀土金属钕掺杂纳米SnO2薄膜。对薄膜进行物相结...