真空阴极弧沉积论文

论文摘要[摘要]目的：试图采用磁过滤真空阴极弧沉积法在钛金属假体表面制备氧化锆膜，并检测其表征。方法：采用磁过滤真空阴极弧沉积法在纯钛片表面制备氧化锆膜，然后对氧化锆膜的形貌特...