真空预载荷论文

真空预载荷静压气体轴承的研究
论文摘要静压气体轴承具有高精度、高速度、高运动分辨率、爬行小、污染少、热稳定好等优点,从而广泛应用于精密测量仪器、超精密加工和微细加工等工程场合。以静压气体止推轴承为基础的静压...