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真空紫外反射膜特性及相关技术研究
论文摘要真空紫外反射镜在太阳物理、宇宙物理、生命科学、同步辐射等高科技领域应用广泛。近年来,随着国民经济的高速发展,科技能力的快速提升,国内相关行业对真空紫外(VUV)光学元件...