阵列薄膜论文

论文摘要真空微电子器件具有电子传输速率高、功耗低、发射电流密度大、无需加热等优点,场发射阴极作为真空微电子器件的核心部分,其性能的好坏直接影响真空微电子器件的整体性能。因此,场...