阵列缺陷论文

TFT-LCD显示面板制成工艺中的阵列缺陷检测方法研究
论文摘要TFT-LCD显示面板的缺陷检测,是TFT-LCD显示面板制成工艺中的重要工艺。其中阵列缺陷检测在整体缺陷检测中占有极为重要的作用。该工艺是一种结合了SEM、FIB、老...