直接解耦测量论文

宏/微两级驱动的大行程高精度二维定位平台基础技术研究
论文摘要本论文以研究大行程、高精度定位平台为主要目的,结合浙江省科技计划（国际合作）项目“纳米级超精密定位平台的研制”（No.2004C24003）,研制了以平面电机及超磁致伸...