直流磁控反应溅射论文

高温压力传感器的研制与计算机模拟
论文摘要高温压力传感器因其特殊的应用环境而日益受到人们的重视。在石油，化工，冶金，航空航天等领域，对高温环境下的压力测试是必要的。多晶硅高温压力传感器和SOI高温压力传感器是目...
新型透明导电氧化物薄膜的研究
论文摘要本文采用直流磁控反应溅射金属镶嵌靶In/Mo和In/W制备高价态差掺钼氧化铟（In2O3：Mo，IMO）和掺钨氧化铟（In2O3：W，IWO）透明导电薄膜，详细研究了氧...