直流磁控溅射法论文

三氧化钨基光学氢敏膜的制备及性能研究
论文摘要三氧化钨（WO3）薄膜是一种重要的功能材料,因具有良好的电致变色、气致变色、光致变色、电化学性能而得到广泛的研究和应用,尤其是其气致变色性能在气体传感器方面有广阔的应用...