直流等离子体论文

大尺寸金刚石厚膜球冠制备机理与工艺研究
论文摘要化学气相沉积金刚石膜具有优异的热学、电学、声学、光学、力学等综合性能,在机械、电子、光学及生物工程等领域具有广阔的应用前景。近年来,曲面金刚石膜在国防领域受到极大的重视...