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纳米CMOS器件的新测量方法并用于可靠性的研究
论文摘要CMOS器件尺寸越来越小,栅介质厚度持续减小,负偏压温度不稳定性(NBTI)成为制约器件可靠性及寿命的最主要因素之一。然而,NBTI机理一直处于争论之中。其原因一方面源...