直流对靶论文

论文题目:非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:吴淼导师:胡明关键词:氧化钒薄膜,电阻温度系数,红外探测,真空蒸发...