直流反应磁控溅射法论文

P型GaN上AZO膜的制备及欧姆接触特性
论文摘要GaN是制备光电器件（如LED﹑LD）的理想材料。目前,GaN基LED通常采用Ni/Au作为p-GaN接触电极,但当Ni/Au太厚,其透光率低,大大降低了LED发光效率...