直流反应磁控溅射论文

磁控溅射制备AZO薄膜及其透明导电性质研究
论文摘要为了寻求一种价格低廉、环保且性能优异的透明导电薄膜材料,本文采用直流反应磁控溅射法以Zn-Al合金靶（Znwt%:Alwt%98.5:1.5）为靶材,在普通玻璃衬底上制...
二硫化钨（WS2）薄膜的制备及其摩擦学性能
论文摘要在高温、高真空或高低温循环等苛刻条件下,液体润滑剂由于无法满足使用要求,这使润滑剂面临严峻的挑战。在这些环境中,固体润滑膜可以代替液体润滑剂有效地发挥润滑功能,并已被广...
ZnO：Al薄膜的制备及其性质的研究
论文摘要ZAO透明导电薄膜由于自身优良的光学和电学性质而备受人们青睐。与传统的ITO导电膜相比,ZAO导电膜具有如下一些突出的优点:原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低...
p型ZnO薄膜的制备及掺杂机理研究
论文摘要ZnO为Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料，具有压电、热电、气敏、光电导等多种性能，在许多领域都有广泛的应用。近年来ZnO在光电领域的应用引起了人们的很大关注，这是由于ZnO在室...
Al-N共掺杂实现p型ZnO的机理及其相关器件基础研究
论文摘要近年来,宽禁带半导体材料ZnO的研究已经引起人们广泛的关注。ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,具有直接宽带隙（室温下3.37eV）,属于六方纤锌矿结构。由于ZnO具...