直流辉光放电论文
直流辉光放电的三维PIC/MCC模拟
论文摘要随着微电子工业的发展,辉光放电技术的应用领域越来越广泛,例如:它可用于表面刻蚀、表面改性以及薄膜沉积等材料加工方面,它还可以应用于激光、荧光灯以及平面等离子体显示屏等方...脉冲电晕放电与直流辉光放电中OH自由基等活性物种的光谱诊断
论文摘要本论文分别利用发射光谱技术和激光诱导荧光光谱技术对脉冲电晕放电和直流辉光放电等离子体中OH自由基等活性物种进行了诊断研究,主要的研究结果如下:1.克服强电磁干扰,利用发...细长金属管内产生的直流辉光放电等离子体及其初步应用研究
论文摘要提高金属管内表面的硬度、耐磨性、抗蚀性等性能有着重要的工业应用价值。我们针对内径小于10mm的金属管开发了一种利用直流辉光等离子体的金属管内表面改性技术。在金属管的中心...非脉冲直流辉光放电等离子体降解有机染料及对苯二甲酸合成研究
论文摘要本论文的研究分为两部分,第一部分是非脉冲直流辉光放电等离子体降解水中染料的研究,第二部分是对苯二甲酸的新合成路线研究。利用非脉冲直流辉光放电等离子体技术来处理难降解的有...