直流空心阴极放电论文

纳米晶氮化碳薄膜制备的研究
论文摘要本文主要论述了采用弧光放电（ArcDischarge）和直流空心阴极放电（DCHollowCathodeDischarge）两种方法来制备纳米陶瓷氮化碳薄膜。其中重点研...