直流脉冲磁控溅射论文

直流脉冲磁控溅射制备Mo薄膜及其性能研究
论文摘要寻找廉价、可再生的新型清洁能源己成为当前人类面临的迫切课题。CIS/CIGS薄膜太阳电池以其廉价、高效、性能稳定等优点,成为当今光伏界乃至新能源开发领域的研究热点之一。...