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电弧离子镀CrSiN薄膜基本性能的研究
论文摘要表面涂层的历史可以追溯到一千多年以前,最早应用于表面涂层的是TiN硬质薄膜,其次是CrN薄膜,它们已经广泛地应用于刀具、模具、机械等领域。但是TiN、CrN均属于单相二...