直流热阴极论文

直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜及其微结构研究
论文摘要本论文研究了直流热阴极辉光放电特性,建立了稳定的直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石膜的工艺。研究了金刚石膜的生长特性,包括表面形貌、截面特性以及金刚石膜的品质等。完善了...