质谱诊断论文

射频辉光放电等离子体空间特性的质谱诊断
论文摘要射频辉光放电等离子体在微电子及半导体薄膜材料生长等方面有着广泛的应用。对于等离子体中的沉积因子与刻蚀基团的诊断与测量,可以更好地监控等离子体成膜以及刻蚀过程,有助于理解...