直线驱动论文

极紫外光刻机工件台动力学建模及仿真
论文摘要工件台系统是极紫外光刻(EUV)的一个关键子系统。极紫外光刻机采用步进扫描曝光方式,成像质量不仅取决于光学系统的质量,还取决于工件台的动态定位,因此工件台系统机械结构的...
压电步进二维精密驱动器理论及实验研究
论文摘要压电步进精密驱动器是以压电器件为驱动元件,利用步进驱动原理实现微米甚至亚纳米级运动的驱动器。本文以实现压电步进二维精密驱动为目标,开展了相应的基础理论、结构设计、实验测...