重掺砷直拉硅单晶论文

高温快速热处理对直拉硅单晶中杂质行为的影响
论文摘要快速热处理（RTP）作为一种敏捷制造手段,近十年来在直拉硅片内吸杂工艺中得到很好的应用,其根本原因在于高温RTP引入的空位能增强直拉硅片的氧沉淀且空位浓度的深度分布可以...