重复学习控制算法论文

IC缺陷检测的直线电机高精度定位控制
论文摘要高速高精运动控制是电子制造装备的核心技术之一。在IC芯片的封装与检测中,随着芯片尺寸的减小,生产率要求的提高,封装设备的加速度、速度和定位精度要求越来越高。这给运动控制...