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强光光学零件的中高频误差研究
论文摘要确定性光学加工所产生的中高频误差会降低光学零件的抗激光损伤阈值,影响强光光学系统的安全运行,需要对其幅值和分布进行严格控制。磁流变抛光能够实现光学零件的高精度、高效率和...
确定性光学加工的中高频误差分布特性与修形方法研究
论文摘要相对于传统手工加工,确定性光学加工大幅提高了光学元件的加工精度和加工效率。但是确定性加工方法由于使用了比被加工工件小得多的抛光工具,使得面形误差中产生了较多的中高频成分...