中频反应磁控溅射论文

中频反应磁控溅射制备二氧化硅薄膜的工艺研究
论文摘要二氧化硅薄膜具有良好的绝缘性、稳定性和机械特性,同时又是一种实用的低折射率材料,可以作为绝缘层、保护膜、钝化膜或光学薄膜,广泛应用于半导体、微波、光电子以及光学器件等领...