轴倾斜论文

AIN薄膜体声波质量传感器的研究
论文摘要近年来,随着射频无线通信技术和半导体工艺的迅猛发展,质量传感器的研制成为人们关注的热点。传统的质量传感器正在向微型化、集成化、智能化、信息化转变。而以薄膜体声波谐振（F...