准单片集成论文

低温晶片键合的实验和动力学特性研究
论文摘要本论文工作是围绕任晓敏教授任首席科学家的国家重点基础研究发展规划项目(973计划项目)“新一代通信光电子集成器件及光纤的重要结构工艺创新与基础研究”项目分课题二“低温晶...