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表面三维岛对薄膜表面原子扩散以及基底原子应力的影响
论文摘要表面原子的扩散是薄膜科学研究的重点内容之一。从原子尺度上研究当表面岛存在时,表面原子的扩散势垒以及基体原子的局部应力和位置偏移的影响,薄膜生长的微观机制对揭示薄膜生长的...