注入角度论文

现代IC制造工艺下离子注入技术的研究
论文摘要离子注入是现代集成电路制造中一项非常重要的技术。随着微电子技术的发展,器件尺寸越来越小,集成度越来越高,半导体工艺也越来越复杂,离子注入技术已成为近几十年来在国际上得到...