自持金刚石厚膜论文

金刚石基片上压电薄膜的制备及其生长特性研究
论文摘要金刚石膜化学气相沉积（CVD）技术发展日趋成熟,CVD方法得到的金刚石膜与天然金刚石膜性能相差无几,且制备成本相对较低,因此具有广阔的应用和商业前景。本文以CVD方法制...