自动化测量系统论文

基于虚拟仪器的自动化薄膜电阻率测量系统研究
论文摘要电阻率是电子材料的重要性能参数,薄膜电阻率的测量备受关注。采用传统四探针电阻率测量方法测量薄膜电阻率,需要加入较多的修正才能得到精确结果,而且手动四探针测量设备很容易划...