自动阻抗匹配器论文

自动阻抗匹配器检测电路设计及匹配算法研究
论文摘要自动阻抗匹配器是射频耦合等离子体设备系统中关键部件之一,衡量自动阻抗匹配器性能好坏的主要技术指标是其匹配速度和匹配精度。已有的研究工作表明,在仅检测射频电源入射功率和反...